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J-GLOBAL ID：200903031006018252

ウェハーの静電破壊防止方法およびその装置

Inventor： 中野 俊典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992320585
Publication number (International publication number)：1994168927
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、ウェハーに超純水を注いで洗浄等してもウェハーに静電破壊を生じさせず、かつウェハーに不都合をも生じさせないウェハーの静電破壊防止装置を提供することを目的とする。【構成】 ウェハーSの洗浄等用の超純水ライン14に、この超純水ライン14中の超純水に所定量のオゾンを溶解させるオゾン溶解装置20を取り付けた。オゾンは超純水中に溶解するとイオンを発生させるため、超純水との摩擦によってウェハーSに静電気が生じてもこの静電気を超純水とともに外部に放出し、ウェハーSへの静電気の蓄積を防止する。また、オゾンの溶解によってウェハーSに不都合を生じさせることもない。

Claim (excerpt)：

超純水で洗浄等されるウェハーが、洗浄等時に超純水との摩擦によって発生する静電気によって破壊されるのを防止するウェハーの静電破壊防止方法において、前記ウェハーの洗浄等を所定量のオゾンを溶解させた超純水で行なうことを特徴とするウェハーの静電破壊防止方法。

IPC (4)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/10 ,  C01B 13/10