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J-GLOBAL ID：200903031011115525

基板表面性検査方法および検査装置

Inventor： 鈴木 幸一郎 ,  福原 正樹 ,  池田 浩
Applicant, Patent owner： 花王株式会社
Agent (1)： 笹島 富二雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996041848
Publication number (International publication number)：1997236532
Application date： Feb. 28, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 簡便な方法で正確に基板表面の濡れ性を評価する。【解決手段】 温湿度の調節された室内で、検査対象物である基板8をスピンテーブル4上に水平に装着・固定し、モータ2によりこれを回転する。このとき、最初は低速で回転させながら、ノズル5より基板8上に所定量の液体を供給する。その後、液体の供給を停止し、高速で回転させて、所定時間経過後回転を停止させる。そして、停止した基板8の表面をカメラ6で撮影し、画像解析機7で自動的に処理して、基板8表面への液滴の残留状態を判別し、これに基づいて基板表面の濡れ性を評価する。

Claim (excerpt)：

所定の環境下で基板の表面に所定の液体を所定量供給し、前記基板を所定の回転数で所定時間回転させ、該回転の停止後、前記基板表面への液滴の残留状態により前記基板表面の濡れ性を判別することを特徴とする基板表面性検査方法。

IPC (5)：

G01N 13/00 ,  G01N 21/88 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66

FI (7)：

G01N 13/00 ,  G01N 21/88 G ,  G01N 21/88 E ,  G01N 21/88 F ,  G11B 5/84 C ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66 L