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J-GLOBAL ID：200903031037125502

透明導電膜およびその製造方法

Inventor： 生田 茂雄 ,  古山 静夫 ,  畑瀬 博
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996007053
Publication number (International publication number)：1997194233
Application date： Jan. 19, 1996
Publication date： Jul. 29, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明はITO微粒子から構成される透明導電膜およびその製造方法に関するもので、低抵抗で、高温、高湿環境においても特性変動の少ない信頼性に優れた透明導電膜およびその製造方法を安価に提供することを目的とする。【解決手段】 ITO微粒子を樹脂および有機溶剤に分散させたものを基板11上に塗布し、乾燥後、焼成を行ってITO微粒子からなる膜12を形成し、その上に金属化合物の溶液を塗布し、乾燥後、焼成を行って膜12の空孔を埋めるように金属酸化物13を形成して、ガスや水分の影響を受けにくい信頼性に優れた透明導電膜14を得る。

Claim (excerpt)：

インジウム錫酸化物微粒子からなる膜と、前記膜中の空孔を埋める金属酸化物とで構成された透明導電膜。

IPC (5)：

C03C 17/25 ,  C23C 22/74 ,  C23C 30/00 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

FI (5)：

C03C 17/25 A ,  C23C 22/74 ,  C23C 30/00 C ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 C