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J-GLOBAL ID：200903031054327038

基材上にフィルムを形成する方法及び装置

Inventor： ギルス,キャサリン ,  ビークマン,ナット ,  ドブソン,クリストファー デイビッド ,  マックネイル,ジョン ,  ウィルビー,アントニー ポール
Applicant, Patent owner： トリコン ホールディングス リミティド
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001506599
Publication number (International publication number)：2003503849
Application date： Jun. 26, 2000
Publication date： Jan. 28, 2003
Summary：

【要約】基材上にフィルムを製造する方法及び装置。本発明は、基材上にフィルムを製造する方法及び装置に関する。この方法は、気体又は蒸気のケイ素含有有機化合物及び酸化剤を、プラズマの存在下で容器に供給して、基材上にフィルムを堆積させ、そして炭素含有基がフィルム内に保持されるようにしてフィルムを硬化させることを含む。特定の態様では、フィルムの硬化はH2プラズマにフィルムを露出させることによって行う。

Claim (excerpt)：

(a)容器内の支持体に基材を配置すること、 (b)気体又は蒸気のケイ素含有有機化合物及び酸化剤を、プラズマの存在下で前記容器に供給し、前記基材上にフィルムを堆積させること、並びに (c)炭素含有基がフィルム内に保持されるようにして、フィルムを硬化させること、を含む、基材上にフィルムを形成する方法。

IPC (4)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31

FI (4)：

H01L 21/316 P ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31 C

F-Term (34)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA27 ,  4K030BA29 ,  4K030BA48 ,  4K030CA04 ,  4K030EA04 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  4K030JA20 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AD04 ,  5F045AE21 ,  5F045AF03 ,  5F045BB16 ,  5F045DC63 ,  5F045EE14 ,  5F045EE17 ,  5F045EF05 ,  5F045EH19 ,  5F045HA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BF07 ,  5F058BF27 ,  5F058BF37 ,  5F058BF39 ,  5F058BH01 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ02