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J-GLOBAL ID：200903031074858366

原子間力顕微鏡用探針およびその製造方法

Inventor： 上田 和浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995006187
Publication number (International publication number)：1996193941
Application date： Jan. 19, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】アスペクト比の大きな試料表面の形状を高精度に計測できる走査プローブ顕微鏡用探針を再現性良く大量に製造する方法を提供することを目的とした。【構成】一端が梁支持部3で固定されている片持ち梁2の他端部に針状結晶1を化学反応気相成長法で成長させることにより得た。【効果】半導体プロセスを用い、針状結晶を探針とするアスペクト比の大きな探針有するカンチレバーを、半導体基板中に多数、再現性良く製作することができる。

Claim (excerpt)：

一端が梁支持部に固定されている片持ち梁の他端部に針状結晶を有することを特徴とする原子間力顕微鏡用探針。

IPC (4)：

G01N 13/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-236272
  
• 特開昭59-175273