表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法、及び欠陥検出方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：細江利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002320592
Publication number (International publication number)：2004109105
Application date： Nov. 05, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】特殊な技術をもたないオペレータでも簡便に複雑な欠陥分類が実現され、労力が大幅に削減されるとともに操業状態の変化に迅速に対応した評価が可能となるような表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法を提供する。【解決手段】疵種毎の特徴量データを入力し(ステップS11〜S14)、疵種毎の混合密度分布のパラメータ(平均ベクトル、共分散行列、結合係数)を求める(ステップS15)、そして、求められた疵毎混合密度分布に基づいて、ベイズの定理を使用して、疵毎の識別境界決定を決定する(ステップS16)、そして、その判断の確からしさの算出(ステップS17)を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

学習用の疵データを採取し、N次元の特徴量空間を占める複数の疵種のカテゴリについて、それぞれにN次元正規分布の混合密度分布を仮定し、これを特徴づける平均ベクトル、共分散行列、結合係数などのパラメータを、前記学習用疵データにフィッティングするようにEMアルゴリズムによる収束によって決定し、決定された各疵のカテゴリ毎のN次元正規分布の混合密度分布に基づいて、ベイズの定理を使用して、表面欠陥検出における疵種分類境界を決定する過程を含むことを特徴とする表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法。

IPC (6)：

G01N21/88 , B21C51/00 , G01B21/30 , G01N21/892 , G06T1/00 , G06T7/00

FI (6)：

G01N21/88 J , B21C51/00 P , G01B21/30 , G01N21/892 B , G06T1/00 300 , G06T7/00 350A

F-Term (76)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC06 , 2F065DD06 , 2F065FF41 , 2F065GG03 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL02 , 2F065LL08 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F069AA60 , 2F069BB19 , 2F069BB34 , 2F069CC06 , 2F069DD15 , 2F069DD16 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069JJ02 , 2F069NN16 , 2F069NN25 , 2F069NN26 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA11 , 2G051CA12 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051ED07 , 2G051FA10 , 5B057AA17 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC19 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA32 , 5L096FA33 , 5L096FA34 , 5L096FA35 , 5L096FA64 , 5L096GA30 , 5L096GA51 , 5L096HA09 , 5L096JA22 , 5L096KA04 , 5L096MA07

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