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J-GLOBAL ID：200903031129771370

ペリクル

Inventor： 宮崎 哲也
Applicant, Patent owner： 三井化学株式会社
Agent (1)： 鈴木 郁男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998328012
Publication number (International publication number)：2000147750
Application date： Nov. 18, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 緻密な金属酸化物からなる基体表面に、紫外光、特に真空紫外光に対する透過性と反射防止性能に優れた無機系の反射防止層が形成されており、その結果、紫外光に対する優れた耐光性と光線透過性とを有するペリクルを提供する。【解決手段】 緻密な金属酸化物(a)から成る基体の両面に反射防止層を積層したペリクル膜乃至板において、該反射防止層が多孔質の金属酸化物(b)の薄膜からなるペリクル膜乃至板であることを特徴とするペリクル。

Claim (excerpt)：

緻密な金属酸化物(a)から成る基体の両面に反射防止層を積層したペリクル膜乃至板において、該反射防止層が多孔質の金属酸化物(b)の薄膜からなるペリクル膜乃至板であることを特徴とするペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P

F-Term (3)：

2H095BC33 ,  2H095BC34 ,  2H095BC35