有機発光デバイス製造用のコーティング方法及び細長い熱物理蒸着源

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003059808
Publication number (International publication number)：2003297570
Application date： Mar. 06, 2003
Publication date： Oct. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】有機層を均一に蒸着するための手段を提供すること。【解決手段】壁を有する細長い容器に入れた有機材料を気化させることによって構造体をコーティングする方法であって、開口部を有する蓋を該容器の上に設け;該蓋と該有機材料の間にバッフルを設けて、気化した有機材料が、最初に容器の壁に当たることなく直にアクセスして該開口部を通過することを防止し;そして該開口部を、大きさを変えもしくは隣接する開口部間の間隔を変え又はその両者を組み合わせてつくり、該開口部の大きさの変更又は開口部の間隔の変更を選択して、蒸着源の長さ方向にそった気化有機材料の蒸気流出量の均一性を実質的に改善し、その結果、気化有機材料が、開口部に対し直接目視線アクセスするのを該バッフルによって防止することにより、粒子状有機材料が開口部を通過するのを防止する、ステップを含んでなるコーティング方法。

Claim (excerpt)：

壁を有する細長い容器に入れた有機材料を気化させることによって構造体をコーティングする方法であって;下記ステップ:a)開口部を有する蓋を該容器の上に設け;b)該蓋と該有機材料の間にバッフルを設けて、気化した有機材料が、最初に容器の壁に当たることなく直にアクセスして該開口部を通過することを防止し、そしてc)該開口部を、大きさを変えもしくは隣接する開口部間の間隔を変え又はその両者を組み合わせてつくり、このような開口部の大きさの変更又は開口部の間隔の変更を選択して、蒸着源の長さ方向に沿った気化有機材料の蒸気流出量の均一性を実質的に改善し、その結果、気化有機材料が、開口部に対し直接目視線アクセスするのを該バッフルによって防止することにより、粒子状有機材料が開口部を通過するのを防止する;ステップを含んでなるコーティング方法。

IPC (4)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H05B 33/14

FI (4)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 A , H05B 33/14 A

F-Term (9)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB12 , 4K029DB18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

米国特許第6237529号明細書
米国特許第5550066号明細書
米国特許第4769292号明細書

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