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J-GLOBAL ID：200903031138691398
疵検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
櫻井 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994124190
Publication number (International publication number)：1995306162
Application date： May. 13, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：
【要約】〔目的〕 操作が簡単で検査時間が短縮できると共に検査精度を向上でき、しかも疵と異物の付着などによる汚れとの弁別が可能な疵検査装置を提供する。〔構成〕 検査対象の物体(W) の表面を照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の撮影装置(CM)と、この撮影装置から離れて設置されこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置(DP)から構成されている。上記照明装置は、離れた箇所で発せられる指令に従って検査対象の物体(W) の表面を異なる方向から照明可能な複数の照明器具( L1〜L5 )を備えている。
Claim (excerpt)：
検査対象の物体の表面を照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の撮影装置と、この撮影装置から離れて設置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置とを備えた疵検査装置において、前記照明装置は、離れた箇所で発せられる指令に従って前記検査対象の物体の表面を異なる方向から照明可能な複数の照明器具を備えたことを特徴とする疵検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/89
, G01N 21/88
, G06T 7/00
