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J-GLOBAL ID：200903031165149902

偏光照明装置

Inventor： 島村 尚孝 ,  及川 義朗 ,  沼崎 潔 ,  下村 英明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994224891
Publication number (International publication number)：1996086979
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】発光体に影響を与えることなく、偏光ビ-ムスプリッタで分離された一方の偏光成分を、発光体からの照射光の光軸に合致させた状態で再び偏光ビ-ムスプリッタに供給する偏光照明装置を提供する。【構成】発光体2と、発光体2から照射される照射光を反射して、一旦、予め定めた集光位置に集光させる第1の反射鏡3と、第1の反射鏡3によって集光されたのち拡がる照射光を平行化する平行化レンズ4と、平行化レンズ4によって平行化された照射光を、2つの偏光成分に分離し、2つの偏光成分のうちの一方の偏光成分を透過させ、他方の偏光成分を反射する偏光ビ-ムスプリッタ6と、発光体2と偏光ビ-ムスプリッタ6との間の、前記照射光の光軸上に配置される第2の反射鏡5と、偏光ビ-ムスプリッタ6で反射された他方の偏光成分の偏光面をπ/2回転させて第2の反射鏡5に向けて射出する変換光学系27とを備えている。

Claim (excerpt)：

発光体と、発光体から照射される照射光を反射して、一旦、予め定めた集光位置に集光させる第1の反射鏡と、前記第1の反射鏡によって集光されたのち拡がる照射光を平行化する平行化光学系と、前記平行化光学系によって平行化された照射光を、P偏光成分およびS偏光成分の2つの偏光成分に分離し、分離した2つの偏光成分のうちの一方の偏光成分を透過させ、他方の偏光成分を反射する偏光ビ-ムスプリッタと、前記発光体と前記偏光ビ-ムスプリッタとの間の、前記照射光の光軸上に配置される第2の反射鏡と、前記偏光ビ-ムスプリッタで反射された他方の偏光成分の偏光面をπ/2回転させる変換光学系とを備え、前記第2の反射鏡は、前記他方の偏光成分を、前記照射光の照射方向と同じ方向に反射することを特徴とする偏光照明装置。

IPC (2)：

G02B 27/28 ,  G02F 1/1335 530