共焦点顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小沢信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993025318
Publication number (International publication number)：1994242380
Application date： Feb. 15, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】簡単な構成で、光軸方向にnmレベルのZ分解能と数μm以上のスパンが得られ、かつ面内方向には共焦点レベルの面内分解能を持つ共焦点顕微鏡を実現する。【構成】ピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に対して走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前記ピンホール基板と対物レンズとの間に、前記試料への照射光と前記試料からの反射光により干渉する干渉計を備えた構成としたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に対して走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前記ピンホール基板と対物レンズとの間に、前記試料への照射光と前記試料からの反射光により干渉する干渉計を備えた構成としたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 , G02B 21/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭52-074952
特開昭54-039249
特開昭61-260946

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