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J-GLOBAL ID：200903031250635395

感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  佐藤 健一郎 ,  児玉 邦彦
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141965
Publication number (International publication number)：1997325497
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 溶剤溶解性が良好で、光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ない感光性組成物を提供できる。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の構造単位を有する樹脂を含有することを特徴とする感光性組成物。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)〜一般式(IV)で表される繰り返し構造単位のうち少なくとも1種を有するスルホニウム又はヨードニウム塩の樹脂を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は各々独立に水素原子、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、又は-S-R6 基を示す。R6 は置換基を有していてもよいアルキル基、又はアリール基を示す。R7 、R11は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を示す。R8 〜R10は各々独立に水素原子、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、又はアルコキシ基を示す。Aは、-O-基、-NR12-基を示す。R12は、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又はアリール基を示す。Bは、置換基を有していてもよいアルキレン基、又はアリーレン基を示す。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-317351   Applicant：コニカ株式会社
• 特開昭63-004206