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J-GLOBAL ID：200903031264023295

微量不純物の分析方法

Inventor： 大塚 健二 ,  山下 義雄
Applicant, Patent owner： 日本パイオニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992185518
Publication number (International publication number)：1994034616
Application date： Jul. 13, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】種々の分析計や分析精度が高いとされる大気圧イオン化質量分析計だけでは分離して検出することができなかったガス中の各不純物を、1ppb以下のような高レベルの感度で分析しうる方法を確立する。【構成】ガス中に含まれる不純物をガスクロマトグラフによって成分分別した状態で大気圧イオン化質量分析計に導入して各不純物を検出する。

Claim (excerpt)：

試料ガスをガスクロマトグラフ法により成分分別した後、キャリアガスともに大気圧イオン化質量分析計に導入し、ガス中の微量不純物成分を検出することを特徴とする微量不純物の分析方法。

IPC (3)：

G01N 30/72 ,  G01N 27/62 ,  G01N 30/88