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J-GLOBAL ID：200903031271675273

バックパッド及びその吸水防止方法

Inventor： 辻井 義明 ,  松尾 智子
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997319865
Publication number (International publication number)：1999151665
Application date： Nov. 20, 1997
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】基板の研磨面に局部的な応力がかかり、割れることを防止する。【解決手段】上部定盤の下面に発泡弾性体のバックパッドを介して基板を取り付け、下部に設けた研磨盤を回転し、加圧しながら基板の片面を研磨する方法に用いられるバックパッドにおいて、表面からの吸水率を20mg/cm2以下にしてなるバックパッド。

Claim (excerpt)：

上部定盤の下面に連続気泡を有する発泡弾性体のバックパッドを介して基板を取り付け、該上部定盤と下方に設けた研磨盤を回転し、加圧しながら基板の片面を研磨する方法に用いられるバックパッドにおいて、表面からの吸水率を20mg/cm2以下としたことを特徴とするバックパッド。