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J-GLOBAL ID：200903031284255346
電界放出陰極の作製方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992059219
Publication number (International publication number)：1993225895
Application date： Feb. 14, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 十分な電気的性能と信頼性を持った金属の電界放出陰極を、容易かつ安価に得られるように作製する。【構成】 エッチングによりけい素基板11上に錐状の凹み14を形成し、この上に電界放出陰極材料16を形成した後、エッチングにより上記けい素基板11を除去して、上記電界放出陰極材料16に一体に電界放出陰極17を形成する。
Claim (excerpt)：
けい素基板上に形成したエッチングマスク上にフォトレジストを塗布した後、写真製版を施し、上記けい素基板の一部を残して他を上記フォトレジストで覆う第1工程と、次に、上記一部にあるエッチングマスクを溶解除去した後、水酸化カリウム水溶液による異方性エッチングによって角錐状の凹みを上記けい素基板表面に形成する第2工程と、さらに上記フォトレジストおよびエッチングマスクを除去した上記けい素基板の表面に、上記凹みにも充填されるように電界放出陰極材料を形成する第3工程と、最後に、けい素基板をエッチングにより除去して、上記電界放出陰極材料上に角錐状の電界放出陰極を露出させる第4工程とを実施する電界放出陰極の作製方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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