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J-GLOBAL ID：200903031307600712

露光量制御方法および装置

Inventor： 梶木 善裕
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994253854
Publication number (International publication number)：1996124820
Application date： Oct. 19, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ランニングコストを上げることなく、露光量の誤差を低減させる。【構成】 一回の露光に所望の総エネルギから現在までに前記パルス光源から出力された光パルスの露光エネルギを引いた残りのエネルギを、総パルス数から現在までに出力されたパルス数を引いた残りのパルス数で割った値を次回に前記パルス光源から出力される光パルスのエネルギとする。

Claim (excerpt)：

パルス光源からシーケンシャルに出力される複数の光パルスによって行われる露光プロセスの露光量を制御する方法において、前記露光プロセスに必要な露光総エネルギから現在までに出力された光パルスのエネルギを引いた残りのエネルギに応じて、次回に出力される光パルスのエネルギを規定することを特徴とする露光量制御方法。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/225

FI (3)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D ,  H01S 3/223 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-250320   Applicant：キヤノン株式会社