Pat
J-GLOBAL ID:200903031309448748
固体撮像素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
船橋 國則
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998294972
Publication number (International publication number):2000124434
Application date: Oct. 16, 1998
Publication date: Apr. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光電変換の均一性の向上により感度のばらつきのない固体撮像素子を実現し、さらに光電変換効率の向上して感度の高い固体撮像素子を実現する。【解決手段】 固体撮像素子1は、シリコン基板(基体)2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、シリコン基板2上における受光センサ部3の直上位置に設けられて入射する光を受光センサ部3に集光する層内レンズ9と、層内レンズ9上に形成されたカラーフィルタ10とを備え、さらにこのカラーフィルタ10上に、層内レンズ9に入射する光の光路が層内レンズ9の中心垂線に対して略平行に近づくように光の入射角を補正する補正用レンズ13が設けられた構成となっている。
Claim (excerpt):
基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、前記基体上における前記受光センサ部の直上位置に設けられて入射する光を受光センサ部に集光する層内レンズと、該層内レンズ上に形成されたカラーフィルタとを備えてなる固体撮像素子において、前記カラーフィルタ上には、前記層内レンズに入射する光の光路が層内レンズの中心垂線に対して略平行に近づくように光の入射角を補正する補正用レンズが設けられていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2):
FI (2):
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
F-Term (21):
4M118AA01
, 4M118AA06
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118CA04
, 4M118CA34
, 4M118DA28
, 4M118EA01
, 4M118GB11
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AA01
, 5C024CA12
, 5C024CA14
, 5C024DA01
, 5C024EA04
, 5C024EA08
, 5C024FA01
, 5C024FA18
, 5C024GA01
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