Pat
J-GLOBAL ID：200903031310888425
イオン照射装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996238536
Publication number (International publication number)：1998064477
Application date： Aug. 20, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ファラデーカップ内に高エネルギー成分の熱電子が導入されたり、ファラデーカップ内で高エネルギー成分の二次電子が発生したりすることを防止して、基板の負帯電を小さく抑制する。【解決手段】 ファラデーカップ8内に、それから電気的に絶縁して、第2ファラデーカップ60を設けた。プラズマ生成容器14a内で生成したプラズマ24を、連通筒64内を通して、かつコイル36による磁束Bでガイドして、第2ファラデーカップ60内に導く。ファラデーカップ8をフィラメント電源22の正極に接続し、かつホルダ4と第2ファラデーカップ60とを互いに並列接続してそれらを電流計測器66を介してフィラメント電源22の正極に接続している。これによって、フィラメント20から放出される熱電子のファラデーカップ8に対する最大エネルギーは、フィラメント電源22の出力電圧V1 のみによって決定される。
Claim (excerpt)：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側付近に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止する筒状のファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板に処理を施すイオン照射装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、前記ファラデーカップ内にそれから電気的に絶縁して設けられていて前記ファラデーカップの孔に対応する位置に孔を有する筒状の第2ファラデーカップと、前記ファラデーカップの孔の外側付近に設けられていて内部にガスが導入されかつ当該ファラデーカップ側に小孔を有するプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器内に設けられたフィラメントと、前記プラズマ生成容器の小孔を含む部分と前記第2ファラデーカップの孔を含む部分とを前記ファラデーカップの孔を通して連通させるものであって、第2ファラデーカップには電気的に接続されており、ファラデーカップおよびプラズマ生成容器とは電気的に絶縁された連通筒と、前記プラズマ生成容器内からこの連通筒内にかけての領域に、それらの軸方向に沿う磁束を発生させる磁束発生手段と、前記フィラメントの両端部に接続された直流のフィラメント電源と、このフィラメント電源の負極と前記プラズマ生成容器との間に前者を負極側にして接続された直流のアーク電源とを備え、前記ファラデーカップを前記フィラメント電源の正極に接続し、かつ前記ホルダと第2ファラデーカップとを互いに並列接続してそれらを直接または電流計測器を介して前記フィラメント電源の正極に接続していることを特徴とするイオン照射装置。
IPC (4)：
H01J 37/317
, G21K 5/04
, H01J 37/08
, H01L 21/265
H01J 37/317 Z
, G21K 5/04 A
, H01J 37/08
, H01L 21/265 D
, H01L 21/265 T
