Pat
J-GLOBAL ID：200903031312989539
フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991296003
Publication number (International publication number)：1993136233
Application date： Nov. 12, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：
【要約】【目的】半導体装置などの製造での、フォト工程及び検査工程の両方において、フォトマスクケース内のフォトマスクを作業者によって入れ換えることなくフォトマスクを表裏反転させ使用できるフォトマスクの自動搬送装置及び検査装置を提供する。【構成】4のアームにより3のフォトマスクを取り出し、8のフォトマスク保持部で3のフォトマスクを保持し、6の回転部を回転させることにより3のフォトマスクを表裏反転させ、再び4のアームに載せることによりフォトマスクの反転動作を完了する。
Claim (excerpt)：
フォトマスクの自動搬送装置に於て、フォトマスクをフォトマスクケースから取り出しホルダーに移す際、またはフォトマスクをホルダーからフォトマスクケースに戻す際にフォトマスクを表裏反転させる機能を備えたことを特徴とするフォトマスクの自動搬送装置。
IPC (3)：
H01L 21/66
, H01L 21/027
, H01L 21/68
