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J-GLOBAL ID：200903031327803520

異物検査装置

Inventor： 神▲崎▼ 豊樹
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997115140
Publication number (International publication number)：1998293100
Application date： Apr. 16, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 異物が薄くて平板であったり、透明または半透明であっても、これを確実に検出することができる異物検査装置を提供すること。【解決手段】 二次元方向に移動する検査ステージ5に保持された基板4の検査対象面4aに向かってレーザ光2を発するレーザ光源1と、このレーザ光源1と前記基板4との間の光路中に設けられ、対物レンズ10、参照面11、ビームスプリッタ12よりなるフリンジスキャンを行う干渉計8と、前記検査対象面4aおよび参照面11においてそれぞれ反射された後、前記対物レンズ10を通過した光を受光するための複数の受光素子13aを二次元的に配置した光検出器13とからなり、相異なる二つの受光素子の出力信号の位相差と基準値とを比較することにより、前記検査対象面4aにおける異物18,19の有無を判別するようにした。

Claim (excerpt)：

二次元方向に移動する検査ステージに保持された基板の検査対象面に向かってレーザ光を発するレーザ光源と、このレーザ光源と前記基板との間の光路中に設けられ、対物レンズ、参照面、ビームスプリッタよりなるフリンジスキャンを行う干渉計と、前記検査対象面および参照面においてそれぞれ反射された後、前記対物レンズを通過した光を受光するための複数の受光素子を二次元的に配置した光検出器とからなり、任意の相異なる二つの受光素子の出力信号の位相差と基準値とを比較することにより、前記検査対象面における異物の有無を判別するようにしたことを特徴とする異物検査装置。