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J-GLOBAL ID：200903031348003079

カーボン微小電極の製造方法

Inventor： 岩崎 弦 ,  丹羽 修 ,  田部井 久男
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 中本 宏 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993197632
Publication number (International publication number)：1995035722
Application date： Jul. 16, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 製造過程で膜のはく離や破壊を起こさず、微細パターンを形成しても正確な電位を印加可能な再現性のある電気化学測定用カーボン薄膜電極の容易な製造方法を提供する。【構成】 基板上に形成された導電性薄膜の一部を露出させた領域にカーボン薄膜の微小電極を製造する方法において、前記導電性薄膜の一部を露出させた領域に有機化合物の電解重合により薄膜を形成する工程と、該薄膜を加熱する工程とを含むカーボン微小電極の製造方法。前記領域の形状は、円形、くし形又はバンド状、あるいはそれらが複数配列されていて、μmオーダーであるものが好ましい。【効果】 通常のグラッシーカーボン電極と同等の電気化学的性質を示し、電位窓の広さなど市販のグラッシーカーボン電極とほぼ等しい電気化学測定が可能などの利点がある。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された導電性薄膜の一部を露出させた領域にカーボン薄膜の微小電極を製造する方法において、前記導電性薄膜の一部を露出させた領域に有機化合物の電解重合により薄膜を形成する工程と、該薄膜を加熱する工程とを含むことを特徴とするカーボン微小電極の製造方法。