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J-GLOBAL ID：200903031352434955
超微粒子製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大城 重信 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994164878
Publication number (International publication number)：1996000991
Application date： Jun. 24, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 反応容器から回収器に流入するガスを効果的に冷却することにより超微粒子の二次凝集を防ぎ長時間連続運転を可能にする。【構成】 反応容器2と回収器3を連結するガス管路の途中に、チャンバー体11と、該チャンバー体内に設けられ冷却媒体により冷却される冷却管13とからなる熱交換器10を設け、反応容器内のガスを前記熱交換器の前記チャンバー体内を通過させて冷却する。冷却管は、内部に冷却媒体の循環路を有し回転駆動される中空の有底円筒管で形成して、外周面に付着する超微粒子をスクレーパーにより掻き落すように構成し、それをチャンバー体内に1本又は複数本垂下して設ける。
Claim (excerpt)：
超微粒子が浮遊分散した反応容器内のガスを回収器に導き超微粒子を捕獲回収する超微粒子製造装置において、前記反応容器と前記回収器を連結するガス管路の途中に、チャンバー体と、該チャンバー体内に設けられ冷却媒体により冷却される冷却管とからなる熱交換器を設け、前記反応容器内のガスを前記熱交換器の前記チャンバー体内を通過させて冷却するようにしたことを特徴とする超微粒子製造装置。
IPC (2)：
B01J 19/08
, B01J 19/00 301
