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J-GLOBAL ID：200903031383328002

加速度センサ

Inventor： 小中 義宏 ,  根来 泰宏
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993259035
Publication number (International publication number)：1995092189
Application date： Sep. 22, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 加速度センサの固定電極と可動電極との離間寸法を小さくすることにより、加速度の検出感度を向上させることができる。【構成】 加速度センサ11の各固定部3の表面に電解メッキ処理によって金属膜12を形成する。そして、質量部7の可動電極7Aと対向する面を固定電極12Aとし、電極7A,12A間の離間寸法dB を小さくする。これにより、加速度センサの検出感度を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、低抵抗のシリコン板をエッチング加工することにより互いに分離して形成された固定部および可動部とを備え、該固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて固定部との間で近接、離間するように変位する質量部と、該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向するように設けられた可動電極とから一体に形成してなる加速度センサにおいて、前記固定電極または可動電極の少なくともどちらか一方の表面に電解メッキによる金属膜を形成したことを特徴とする加速度センサ。