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J-GLOBAL ID：200903031390527770

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法

Inventor： 山舗 有香 ,  富川 真佐夫 ,  浅野 昌也
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992296954
Publication number (International publication number)：1994148895
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、アルカリ可溶性シロキサンポリマー、光によって反応促進剤を発生する化合物、および溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性シロキサンポリマーが、アルコキシシランに水および触媒を加えて加水分解縮合させた反応溶液から、水および触媒を除去して得られるアルカリ可溶性シロキサンポリマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、塗布性に優れており、塗布後の被膜にムラ、筋などの欠陥が発生しない。また、保存中も粘度変化、塗布性劣化がなく、保存安定性が優れている。さらに、プロセスラティチュードが広く、パターン加工容易性を有している。

Claim (excerpt)：

(1)アルカリ可溶性シロキサンポリマー、(2)光によって反応促進剤を発生する化合物、および(3)溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性シロキサンポリマーが、アルコキシシランに水および触媒を加えて加水分解縮合させた反応溶液から、水および触媒を除去して得られるアルカリ可溶性シロキサンポリマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRS ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027