放射感受性の組成物及び方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川口義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992304792
Publication number (International publication number)：1993249662
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は解像度を向上したレリーフ像を得る、放射感受性組成物及び方法を提供する。【構成】極性化合物を放射線感受性組成物に添加して、その組成物の層を支持体に塗布する。組成物層を活性化放射に露光し、それにより極性化合物で錯化された酸部分の分布を含む潜像を発生させる。露光した組成物層を処理して活性化量の酸を得て、光発生酸の拡散を制御する。

Claim (excerpt)：

樹脂結合剤、酸発生剤化合物、及び錯化する極性化合物から成る、放射感受性組成物。

IPC (7)：

G03F 7/004 515 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/30 , G03F 7/38 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平2-296250
特開平1-300250
特開平2-118651

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