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J-GLOBAL ID：200903031419730325

高速原子線源

Inventor： 畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993097107
Publication number (International publication number)：1994289198
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低エネルギーの、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出できる高速原子線源を提供する。【構成】 負電位が与えられる原子放出孔7を有する陰極21と、正電位が与えられる陽極22と、該陰極21と該陽極22間の放電部に放電を起こすガスを導入するガス導入部4とから構成される高速原子線源において、前記放電部にマイクロ波25を導入する。

Claim (excerpt)：

負電位が与えられる原子放出孔を有する陰極と、正電位が与えられる陽極と、該陰極と該陽極間の放電部に放電を起こすガスを導入するガス導入部とから構成される高速原子線源において、前記放電部にマイクロ波を導入することを特徴とする高速原子線源。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-277500
  
• 特表平3-504653
  
• 特開昭61-183899