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J-GLOBAL ID：200903031420001205

熱処理装置

Inventor： 山平 豊 ,  原田 浩二
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992249251
Publication number (International publication number)：1994104248
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 熱板近傍に安全装置用の温度センサを設ける必要がなく、また、安全装置の動作試験等も容易に実施することができ、かつ、種々の放熱条件下においても確実に過昇温を防止して安全性の向上を図ることのできる熱処理装置を提供する。【構成】 過昇温制御装置11は、主制御装置12からの設定温度および放熱条件に関する情報に基づいて、メモリー13からこの時の適正電力供給量を読み出す。そして、この適正電力供給量と実際に加熱用ヒータ5に供給されている電力とを比較し、適正電力供給量を越えて加熱用ヒータ5に電力が供給されている場合は、遮断器14を動作させて加熱用ヒータ5に対する電力供給を遮断する。

Claim (excerpt)：

熱板を加熱するヒータと、このヒータに電力を供給して前記熱板を所定の設定温度に加熱する制御機構とを具備した熱処理装置において、前記ヒータへの電力供給量を検知する検知手段と、前記熱板の設定温度と放熱条件によって決まる前記ヒータへの適正電力供給量を記憶する記憶手段と、前記熱板の設定温度および放熱条件を入力するための入力手段と、前記入力手段からの入力に応じて、前記記憶手段の前記適正電力供給量を読み出し、前記検知手段による検知結果が該適正電力供給量を越えた場合に、前記ヒータへの電力供給を制御する手段とを備えたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (4)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/324