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J-GLOBAL ID：200903031449152717

インジウム-スズ酸化物透明導電膜の製造方法

Inventor： 小島 守一 ,  行延 雅也 ,  川田 宗一
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993053122
Publication number (International publication number)：1994243739
Application date： Feb. 19, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 耐候性、耐久性に優れた、溶出不純物のない透明導電膜を得る。【構成】 焼成されたITO透明導電膜を超純水で洗浄し、乾燥後、不活性雰囲気中400°C以上の温度で熱処理する

Claim (excerpt)：

焼成されたインジウム-スズ酸化物透明導電膜を超純水で洗浄し、乾燥後、不活性ガス雰囲気中400°C以上の温度で熱処理することを特徴とするインジウム-スズ酸化物透明導電膜の製造方法。

IPC (2)：

H01B 13/00 503 ,  H01B 5/14