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J-GLOBAL ID：200903031449329897
除電装置用放電電極とその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 昇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991331320
Publication number (International publication number)：1993089994
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】放電電極の消耗を減らし、半導体製造工場等のクリーンルームに設置した場合にも半導体の品質低下を招かないようにする。【構成】珪素からなる芯材11の外周を、炭化珪素からなる母材12で包囲する。芯材11の尖端部11aを母材12の先端部12aよりも前方に突出させる。コロナ放電は芯材11の尖端部11aから生じる。芯材11を構成する珪素はその原子同士が共有結合で強く結ばれているので、コロナ放電によって電子を放出しても原子間結合が切れない。したがって、芯材の消耗が非常に少ない。又、コロナ放電によって芯材11から微量の珪素が遊離したとしても、珪素は半導体結晶に悪影響を及ぼさない。
Claim (excerpt)：
高電圧を印加して周囲の雰囲気をイオン化する除電装置用放電電極において、珪素からなる棒状の芯材と、珪素とほぼ同等の熱膨張率を有する材料で形成され上記芯材の外周を覆う筒状の母材、とから構成されており、芯材の先端が母材の先端よりも前方に突出していることを特徴とする除電装置用放電電極。
IPC (3)：
H05F 3/04
, H01T 19/04
, H01T 23/00
