Pat
J-GLOBAL ID:200903031454312242

CO検出用ガスセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 俊夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996352413
Publication number (International publication number):1998170464
Application date: Dec. 13, 1996
Publication date: Jun. 26, 1998
Summary:
【要約】【課題】 妨害ガスであるアルコール系ガスを含む雰囲気中においても連続検出が可能であり、かつCOガスに対する選択性を向上せしめたCO検出用ガスセンサを提供する。【解決手段】 金属酸化物半導体薄膜上に非晶質のアルミノシリケート被覆層が設けられたCO検出用ガスセンサ。COガス感応体としての金属酸化物半導体薄膜上に形成させた非晶質アルミノシリケート被覆層は、固体酸触媒としてアルコールのエチレンへの脱水反応を促進するものと考えられ、エチレンはアルコールと比較してガス感度が小さいので、相対的にCO選択性が向上するものと考えられる。また、このCO検出用ガスセンサは、動作温度を例えば300°Cとすることで一定時間毎の加熱が不要となり、連続的検出を可能とさせる。
Claim (excerpt):
金属酸化物半導体薄膜上に非晶質のアルミノシリケート被覆層が設けられたCO検出用ガスセンサ。

Return to Previous Page