収差補正光学系

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高梨幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993256486
Publication number (International publication number)：1995092424
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】光学系のテレセントリックな光路中に配置して該収差を種々と補正することができる収差補正光学系を得ること。【構成】光学系の物体側及び/又は像面側のテレセントリックな光路中に配置され、該光学系の収差を補正する収差補正光学系において、該収差補正光学系は該光学系の光軸に沿った断面が楔形状となっている透光性の光学部材を複数個有し、該複数個の光学部材はある状態において全体として平行平面板となるように対向配置しており、該全ての光学部材が一体となって任意の方向に傾動可能で、且つ該光学部材の少なくとも1つが該光学系の光軸と交差する方向に移動可能であること。

Claim (excerpt)：

光学系の物体側及び/又は像面側のテレセントリックな光路中に配置され、該光学系の収差を補正する収差補正光学系において、該収差補正光学系は該光学系の光軸に沿った断面が楔形状となっている透光性の光学部材を複数個有し、該複数個の光学部材はある状態において全体として平行平面板となるように対向配置しており、該全ての光学部材が一体となって任意の方向に傾動可能で、且つ該光学部材の少なくとも1つが該光学系の光軸と交差する方向に移動可能であることを特徴とする収差補正光学系。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

露光装置及びそれを用いた半導体チップの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-024414 Applicant：キヤノン株式会社
特開平2-166719
特開平3-017610

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