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J-GLOBAL ID：200903031468833792

CO2センサとその製造方法

Inventor： 山添 昇 ,  島ノ江 憲剛 ,  酒井 剛 ,  宮地 祐治
Applicant, Patent owner： フィガロ技研株式会社
Agent (2)： 塩入 明 ,  塩入 みか
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002336194
Publication number (International publication number)：2004170230
Application date： Nov. 20, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【構成】アルミナ基板4に厚膜のNASICON膜6を成膜し、金電極8と溶融炭酸塩10とからなる検知極膜と、酸素イオン導電体のBiMeVOx対極膜112(Meは2価以上の金属元素を表す)からなる対極とを接続する。【効果】CO2センサの湿度依存性を小さくし、かつアルカリ金属イオン導電体を厚膜のNASICONで構成できるので、CO2センサの製造が容易になる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

アルカリ金属イオン導電体に、炭酸塩含有の検知極と炭酸塩を含有しない対極とを接続したCO2センサにおいて、 前記アルカリ金属イオン導電体を耐熱絶縁基板上に成膜し、かつ前記対極を酸素イオン導電体膜で構成したことを特徴とする、CO2センサ。

IPC (3)：

G01N27/416 ,  G01N27/406 ,  G01N27/409

FI (3)：

G01N27/46 376 ,  G01N27/58 Z ,  G01N27/58 B

F-Term (3)：

2G004BB04 ,  2G004BM07 ,  2G004ZA04