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J-GLOBAL ID：200903031487042224

半導体ウェハ搬送システム

Inventor： 倉内 繁 ,  沼田 成夫 ,  清水 道行 ,  岡部 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 春日 讓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997171624
Publication number (International publication number)：1999016984
Application date： Jun. 27, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】先行搬送車の移載作業による後続搬送車の停滞状態をなくし、全体の稼動率を向上できる搬送システムを提供する。【解決手段】ストッカ1,2,3,4...と、搬送軌道6を走行する多数の搬送車8A,8Bと、閉ループを形成するメインルート5と、このメインルート5から分岐し対応するストッカ1の近傍を通って再びメインルート5に合流する引き込みルート9と、メインルート5を直進する方向か若しくはメインルート5から引き込みルート9に進入する方向へ択一的に進路を切り替え可能なポインター10と、メインルート5を直進する方向か若しくは引き込みルート9からメインルート5に進出する方向へ択一的に進路を切り替え可能なポインター11とを設ける。

Claim (excerpt)：

半導体処理工程に対応して設けられ、半導体ウェハの一時保管をそれぞれ行う複数のストッカと、閉ループを形成する1つの本線を含む搬送軌道と、前記半導体ウェハを搭載し前記搬送軌道を走行する複数の搬送車とを有し、前記複数のストッカ間で前記半導体ウェハの搬送を行う半導体ウェハ搬送システムにおいて、前記搬送軌道に、前記本線から分岐し対応する前記ストッカの近傍を通って再び前記本線に合流する側線を設け、前記本線から前記側線が分岐する位置に、前記本線を直進する方向か若しくは前記本線から前記側線に進入する方向へ択一的に進路を切り替え可能な分岐用切替手段を設け、前記側線が前記本線に合流する位置に、前記本線を直進する方向か若しくは前記側線から前記本線に進出する方向へ択一的に進路を切り替え可能な合流用切替手段を設けたことを特徴とする半導体ウェハ搬送システム。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 501 ,  B65G 43/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02

FI (5)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 501 C ,  B65G 43/00 A ,  B65G 49/07 Z ,  H01L 21/02 Z