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J-GLOBAL ID：200903031502698263

窒化ガリウムの製造方法

Inventor： 松下 純一 ,  石本 陽一
Applicant, Patent owner： 学校法人東海大学
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000220937
Publication number (International publication number)：2002029713
Application date： Jul. 21, 2000
Publication date： Jan. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明は、高純度の単層窒化ガリウムを得ることを課題とする。【解決手段】三酸化二ガリウムを、アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

Claim (excerpt)：

三酸化二ガリウムを、アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。