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J-GLOBAL ID:200903031515453561
紫外線による硬化方法及び装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
野口 繁雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000138103
Publication number (International publication number):2001316485
Application date: May. 11, 2000
Publication date: Nov. 13, 2001
Summary:
【要約】【課題】 基板上に形成された厚みのある高分子材料層のパターンを硬化させる。【解決手段】 真空チャンバー2内に基板ホルダー4が設けられ、基板ホルダー4は、表面側に高分子材料層パターンが形成された透明ガラス基板6を、その高分子材料層パターンが上向きになるように、基板6の周辺部で保持する。真空チャンバー2の下部には、紫外線を照射するUVランプ22と赤外線を照射する赤外線ランプ24とが配置されており、それらのランプ22,24からの光は真空チャンバー2の下面の入射窓を介して入射し、高分子材料層を硬化させる。
Claim (excerpt):
透明ガラス基板の表面側に形成されパターニングされた高分子材料層を硬化させる方法において、減圧下で、前記高分子材料層を硬化させうる波長域の紫外線と加熱用赤外線を前記透明ガラス基板の裏面側から照射することを特徴とする硬化方法。
IPC (7):
C08J 3/28 CER
, C08J 3/28 CEZ
, C03C 15/00
, G02B 3/00
, G02B 3/08
, G03F 7/20 502
, C08L101:00
FI (7):
C08J 3/28 CER
, C08J 3/28 CEZ
, C03C 15/00 D
, G02B 3/00 Z
, G02B 3/08
, G03F 7/20 502
, C08L101:00
F-Term (14):
2H097BA02
, 2H097CA12
, 2H097CA13
, 2H097LA15
, 4F070AA11
, 4F070AA41
, 4F070GA04
, 4F070GC09
, 4G059AA08
, 4G059AB06
, 4G059AB09
, 4G059AC01
, 4G059BB01
, 4G059BB13
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