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J-GLOBAL ID：200903031548874821

X線発生源

Inventor： 富江 敏尚 ,  矢野 雅昭 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社ニコン
Agent (2)： 佐藤 正年 (外2名) ,  佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991103725
Publication number (International publication number)：1994223996
Application date： Mar. 25, 1991
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 従来のX線発生源の固体標的では、生物試料等のX線像が、コントラストよく高い解像度で得られない等の問題を解消し、X線顕微鏡等に適した波長領域のX線が高効率で発生するX線発生源を得る。【構成】 酸素のKー吸収端(23.55Å)と炭素のKー吸収端(43.55Å)との間の波長領域のX線への変換効率が高い物質を、X線発生源の固体標的とする。

Claim (excerpt)：

レーザ光を固体標的上に集光して生成したプラズマよりX線を発生するX線発生源において、前記固体標的として、励起レーザエネルギーから酸素のKー吸収端(23.55Å)と炭素のKー吸収端(43.55Å)との間の波長領域のX線エネルギーへの変換効率が高い物質を用いたことを特徴とするX線発生源。

IPC (2)：

H05G 2/00 ,  H01S 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-006349
  
• 特開昭47-044753
  
• 特開平2-100297
  
• 特開昭58-040757