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J-GLOBAL ID:200903031557071111

感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 萩野 平 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996348526
Publication number (International publication number):1998186642
Application date: Dec. 26, 1996
Publication date: Jul. 14, 1998
Summary:
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき、ポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー、(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド、(3)特定の、フェノール水酸基を有するモノマーを共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
少なくとも下記(1)で示される構成成分、(2)で示される構成成分および(3)で示される構成成分を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド(3)下記一般式〔l〕、〔2〕または〔3〕で示されるフェノール水酸基を有するモノマー【化1】(式中、Aは水素原子、ハロゲン原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。R1は水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基を表す。Y、Zは同一であっても良くまた異なっていても良く、炭素数6〜20のアリーレン基を表す。Xは連結基であり、炭素、窒素、酸素、硫黄、ハロゲン、水素原子から選ばれる原子からなる2価の有機基を表す。mは0から1の整数を、nは1から3の整数を表す。)
IPC (5):
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5):
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

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