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J-GLOBAL ID：200903031569260319
固体撮像装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995098365
Publication number (International publication number)：1996293592
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 センサ部からの斜め入射光に起因して垂直電荷転送部に入り込むスミア成分の低減を可能とした固体撮像装置を提供する。【構成】 固体撮像装置の垂直電荷転送部12において、水平転送期間に垂直電荷転送部12のポテンシャルが深くなる第1の部分に対応するセンサ開口部19aを、ポテンシャルが浅くなる第2の部分に対応するセンサ開口部19bよりも垂直電荷転送部12から離して形成し(La>Lb)、センサ開口部19aのセンサ部では、遮光膜18のセンサ部側への張り出し量をセンサ開口部19bのセンサ部よりも大きくした構成とする。
Claim (excerpt)：
行および列方向にて2次元配列されかつ入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換する複数個のセンサ部と、前記複数個のセンサ部の各列間に配されて各センサ部から読み出された信号電荷を垂直転送する複数本の垂直電荷転送部と、前記複数本の垂直電荷転送部から供給される信号電荷を水平転送する水平電荷転送部とを具備し、前記センサ部の開口部を除いて遮光膜によって覆われた構成の固体撮像装置であって、前記垂直電荷転送部には前記水平電荷転送部の転送期間でポテンシャルが深くなる第1の部分とポテンシャルが浅くなる第2の部分とが存在し、前記第1の部分に対応するセンサ部の開口部は、前記第2の部分に対応するセンサ部の開口部よりも対応する垂直電荷転送部から離れて形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
