誘電体素子、圧電素子、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、並びにこれらの製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：宮崎昭夫 , 伊藤克博 , 石橋政幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004055549
Publication number (International publication number)：2005244133
Application date： Feb. 27, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】特性が良好で薄膜化が可能な誘電体、圧電体およびそれらの製造方法を提供すること、更には、この圧電体素子を用いたインクジェットヘッド等のアクチュエータを提供すること。【解決手段】圧電体などとして利用できる誘電体を、比誘電率の異なる2種の誘電体層の積層構造を有するように形成する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

上部電極層と下部電極層の間に誘電体層を設けた積層構造を有する誘電体素子において、前記誘電体層が、元素組成の異なる第一の誘電体層と第二の誘電体層の2層を少なくとも有し、前記第一の誘電体層が第二の誘電体層との境界側で少なくとも1成分の組成が他の成分に対して傾斜構造である事を特徴とする誘電体素子。

IPC (9)：

H01L41/22 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , H01G4/12 , H01G4/33 , H01L41/18 , H01L41/187 , H02N2/00

FI (9)：

H01L41/22 Z , H01G4/12 394 , H02N2/00 B , H01L41/18 101E , H01L41/18 101F , H01L41/18 101Z , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H , H01G4/06 102

F-Term (20)：

2C057AF03 , 2C057AF93 , 2C057AG15 , 2C057AG44 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 5E001AB06 , 5E001AC10 , 5E001AD04 , 5E001AE03 , 5E001AE04 , 5E001AH03 , 5E082AB03 , 5E082EE23 , 5E082EE37 , 5E082FF15 , 5E082FG26 , 5E082FG42 , 5E082KK01 , 5E082PP09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

圧電アクチュエータおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-250536 Applicant：松下電器産業株式会社
米国特許第5804907号明細書

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