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J-GLOBAL ID：200903031608792250

変位量の測定方法及び変位計

Inventor： 安部 勇幸 ,  遠藤 雄次郎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993029424
Publication number (International publication number)：1994241720
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 穴の底部や配線パターンなどのように、被測定対象面が非常に狭い場合においても確実にその変位を光学的に測定できるようにする。【構成】 レーザダイオード13からの光Lを収束して被測定対象面被測定対象面(穴61の底部61aや凸部62の上面62aなど)に照射する対物レンズ16とを有し、かつ被測定対象面に対して接離方向に移動可能とされた光学系12と、この光学系12のレーザダイオード13からの光出射によって、被測定対象面にて往光路に沿って反射された反射光Lに基づいて、対物レンズ16と被測定対象面との距離が一定となるように、光学系12を被測定対象面に対して接離方向に移動させる自動焦点合わせ機構(ナイフエッジ付きミラー14、光検出器18、移動駆動機構3及び制御系5)と、光学系12の移動量を検出する移動量検出器4とを設けて構成する。

Claim (excerpt)：

被測定対象面の基準面に対する変位量を光学的に測定する変位量の測定方法において、光源からの光を対物レンズを介して収束して上記被測定対象面に照射し、この被測定対象面から往光路に沿って反射された光に基づいて焦点合わせを行う自動焦点合わせ機構により、上記対物レンズと上記被測定対象面との距離が一定となるように、上記対物レンズを被測定対象面に対して接離方向に移動させ、その移動量を上記被測定対象面の上記基準面に対する変位量とすることを特徴とする変位量の測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/32

FI (2)：

G02B 7/11 H ,  G02B 7/11 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-063907
  
• 特開昭62-247202
  
• 特開昭63-063907
  
• 特開昭62-247202