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J-GLOBAL ID：200903031627462717

ウェーハ洗浄装置

Inventor： 小野 泰麿 ,  重盛 勇治
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社 ,  株式会社高田工業所
Agent (1)： 八田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993275807
Publication number (International publication number)：1995130697
Application date： Nov. 04, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ウェーハ洗浄装置で、設備、ソフトを簡素化し故障を少なくすることにより、洗浄装置の稼働率を向上させると共に設備費を削減すること。【構成】 清浄な窒素または圧縮空気の導管12が取付けられたチャック乾燥槽11を乾燥機5の後に隣接して設置する。ウェーハの入ったカセット10を最終洗浄槽4から乾燥機5に移し、その後チャック乾燥槽11でチャック15を乾燥し、カセット10を乾燥機5から取り出し、アンローダー6に移し替える作業を1台の搬送機8で行なう。【効果】 ウェーハ洗浄装置の搬送機は3台から2台に削減され、洗浄装置の稼働率の向上、ウェーハ、カセットの汚染減少、洗浄装置の設備費の削減が図れる。

Claim (excerpt)：

ローダー、洗浄槽、乾燥機、アンローダおよび複数の搬送機で構成されるウェーハ洗浄装置において、搬送機(8) のチャック(15)を乾燥するためのガスを供給する導管(12)を配設したチャック乾燥槽(11)を、乾燥機(5) の後に隣接して設置し、乾燥機(5) 前後のカセットハンドリングを1台の搬送機(8) で行なうようにしたことを特徴とするウェーハ洗浄装置。