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J-GLOBAL ID：200903031688857404

電子素子評価装置

Inventor： 長谷川 剛 ,  細木 茂行 ,  土井 隆久 ,  河野 真貴子 ,  富松 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995174612
Publication number (International publication number)：1997026436
Application date： Jul. 11, 1995
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】実デバイス上のサブミクロン領域に形成された、特定素回路の特性評価を可能にする。【構成】鋭利な先端を有する複数(n)本の探針を、試料表面の法線から傾け(30〜60°)、かつ方位角30°以上の間隔で配置するようにした。【効果】サブミクロン領域に同時に複数の探針を接触させられるため、実デバイス上での回路素子の特性解析が可能になる。

Claim (excerpt)：

複数の探針を有する電子素子評価装置であって、前記探針の中心軸は測定すべき試料表面の法線より傾いており、かつ、試料面内の測定すべき点を中心として、方位角30°以上の間隔で配置されていることを特徴とする電子素子評価装置。

IPC (4)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 微小領域物性測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-302492   Applicant：ソニー株式会社