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J-GLOBAL ID：200903031692119876

生産支援システム

Inventor： 森井 敏博 ,  岩崎 武正
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995003081
Publication number (International publication number)：1996192341
Application date： Jan. 12, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【構成】1-1はラインの通常運転を実行するサブシステムである。1-2はラインに異常事象が発生した場合に、異常回復処理専門に機能するサブシステムである。ラインに異常事象が発生した場合、1-2のラインの通常運転を実行するサブシステムが1-1のラインの通常運転を実行するサブシステムのクライアントとして動作し、適切な回復処理を実行する。【効果】生産支援システムを用いた場合、通常のライン運転機能を改造することなく、ラインで発生する各種異常事象への対応を拡張することが可能となる。

Claim (excerpt)：

生産を支援するシステムにおいて、ラインに異常事象が発生した場合に、異常回復処理専門に機能するサブシステムが、前記ラインの通常運転を実行する前記各サブシステムのクライアントとして動作し、適切な回復処理を実行することを特徴とする生産支援システム。

IPC (5)：

B23Q 41/08 ,  G05B 9/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/50

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-201502
  
• 分散制御システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-039643   Applicant：株式会社日立製作所
• レーザーCVD薄膜形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-298871   Applicant：大阪瓦斯株式会社