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J-GLOBAL ID：200903031712944470

露光装置、光学特性検出方法及び露光方法

Inventor： 井上 次郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000363948
Publication number (International publication number)：2002170754
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ステージの移動面形状や検出用スリットが配置されたスリット板表面形状が計測結果に与える影響を同時に軽減して高精度な光学測定を行う。【解決手段】 ステージ18上に光学系PLの光軸AX方向(Z方向)にほぼ垂直に設置されたスリット板の表面形状データが記憶されたメモリ21を備えている。このため、検出系59を用いて、光学系PLの光学特性を検出する際に、スリット板表面のいずれの点を計測点として計測装置(60a,60b)によりZ位置を計測しても、そのZ位置の計測結果とメモリ内の表面形状データとに基づいて、スリットのZ位置と計測点におけるZ位置との差を正確に求めることができ、この差に基づいて、スリット板のZ位置を所期の位置に調整して、ステージの移動面形状とスリット板の表面形状とが計測結果に与える影響を同時に軽減した高精度な光学測定が可能となる。

Claim (excerpt)：

マスクのパターンを投影光学系を介して基板上に転写する露光装置であって、前記基板を保持する基板ステージと;前記基板ステージ上に前記投影光学系の光軸にほぼ垂直に設置された板状部材の一部に配置された特定構成要素を少なくとも含み、前記投影光学系の光軸方向に関する前記特定構成要素の位置に応じて変化する光学情報を検出する検出系と;前記投影光学系との位置関係が固定で、前記板状部材表面の前記光軸方向に関する位置情報を計測可能な計測装置と;前記計測装置を用いて予め計測された前記板状部材表面の少なくとも3点の前記光軸方向の位置情報に基づいて求められた前記板状部材表面の形状データが記憶された記憶装置と;を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01M 11/02 ,  G03F 9/00

FI (4)：

G01B 11/00 A ,  G01M 11/02 B ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 516 A

F-Term (21)：

2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF55 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL28 ,  2F065MM02 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2G086HH06 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DC12 ,  5F046EB03