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J-GLOBAL ID：200903031720573502

光電式センサ及びウエハ検出装置

Inventor： 加藤 克彦 ,  岡田 光
Applicant, Patent owner： 株式会社メックス
Agent (1)： 飯田 堅太郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267608
Publication number (International publication number)：1998116878
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構成でウエハなど検出対象物の有無を正確に検出すること。【解決手段】 光電式センサ10は、検出対象物13に向けて光を出射する複数の投光部11A、12Aと、検出対象物13により反射した反射光を入射し、入射光量に応じた電気信号を出力する複数の受光部11B、12Bとを備える。

Claim (excerpt)：

検出対象物に向けて光を出射する複数の投光部と、前記検出対象物により反射した反射光を入射し、入射光量に応じた電気信号を出力する複数の受光部とを備えることを特徴とする光電式センサ。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G01J 1/02 ,  G01V 8/20

FI (3)：

H01L 21/68 L ,  G01J 1/02 P ,  G01V 9/04 P