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J-GLOBAL ID：200903031741303670

透明導電膜

Inventor： 阿相 順一 ,  荒井 芳博
Applicant, Patent owner： 東燃株式会社
Agent (1)： 久保田 耕平 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992218685
Publication number (International publication number)：1994041723
Application date： Jul. 27, 1992
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低い抵抗率を有する透明導電薄膜を提供する。【構成】 Bi、Ti、Sn、In、Cd、Zn、Ni、Te、W、Mo、ZrおよびIrから選ばれる1種または2種以上の金属の酸化物を少なくとも含む、単層もしくは多層の膜であるところの透明導電膜において、さらに窒素原子が0.1〜60原子%含有されている。

Claim (excerpt)：

Bi、Ti、Sn、In、Cd、Zn、Ni、Te、W、Mo、ZrおよびIrから選ばれる1種または2種以上の金属の酸化物を少なくとも含む、単層もしくは多層の膜であるところの透明導電膜において、さらに窒素原子が0.1〜60原子%含有されていることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4)：

C23C 14/06 ,  C23C 16/30 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04