Pat

J-GLOBAL ID：200903031753626130

白金のエッチング方法

Inventor： 鶴岡 泰治 ,  多嶋 勉
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社 ,  本田技研工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993255649
Publication number (International publication number)：1995122534
Application date： Oct. 13, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明の第一の目的は、白金のパターニングが終了した試料上に次に形成する薄膜と、該試料との付着性を損ねることのない白金のエッチング方法を提供する。【構成】 白金膜14上にエッチングマスクを形成し、該白金膜14をドライエッチング法により選択的にエッチングするに当たり、エッチングマスク16aとしてシリコン窒化膜を用い、エッチングガスとしてアルゴン(Ar)ガスをもちいる。

Claim (excerpt)：

白金上にエッチングマスクを形成し、該白金をプラズマエッチング法により選択的にエッチングするに当たり、エッチングガスとしてアルゴンガスを用い、エッチングマスクとしてシリコン窒化膜(SiNX 膜)およびシリコン酸化膜(SiO2 膜)の中から選ばれた少なくとも一つの膜を用いることを特徴とする白金のエッチング方法。

IPC (2)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/28