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J-GLOBAL ID：200903031757653972
めっき装置およびめっき方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995057450
Publication number (International publication number)：1996253892
Application date： Mar. 16, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 めっき面積が大きくてもめっき形成部の形状不良を生ぜずに、高精度と高速とを確保できる噴流方式の電気めっき装置および方法を提供する。【構成】 被めっき物10の被めっき面10A にめっき液13を噴流14させるノズル群15A を構成し且つ内部に陽極16を有するノズルヘッド17を、上記ノズル群15A が開口した前面17A を被めっき面10A に対向させて且つ被めっき面10A を覆う面積で配置し、被めっき面10A と上記ノズルヘッド17とを、被めっき面10A に平行に相対的に2次元揺動させる機構を設けためっき装置において、上記ノズル群15Aのノズル15同士の間に、被めっき面10A からの戻り液19を上記ノズルヘッド17の前面17A から排出する戻り流路30を設けた。
Claim (excerpt)：
被めっき物の被めっき面へめっき液を噴流させるノズル群を構成し且つ内部に陽極を有するノズルヘッドを、上記ノズル群が開口した前面を被めっき面に対向させて且つ被めっき面を覆う面積で配置し、被めっき面と上記ノズルヘッドとを、被めっき面に平行に相対的に2次元揺動させる機構を設けためっき装置において、上記ノズル群のノズル同士の間に、被めっき面からの戻り液を上記ノズルヘッドの前面から排出する戻り流路を設けたことを特徴とするめっき装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
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