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J-GLOBAL ID：200903031764701613
エッチング装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993066905
Publication number (International publication number)：1994280054
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 04, 1994
Summary：
【要約】【構成】 エッチング液循環式のエッチング装置において、エッチング処理槽2内に、エッチング液1の濃度を検出する濃度センサSを設ける。濃度センサSにて検出された濃度は電気信号に変換され、制御手段15に入力され、制御手段15は、この信号に基づいてエッチング液1が使用可能か否かを判断し、使用不可と判断した場合は、エッチング処理槽2内へワークを投入する搬送手段4を停止させる。【効果】 エッチング液1の劣化状態を、正確に検知できるので、タイミング良く液交換が行え、エッチング液1の無駄がなくなると共に、パターン形成の安定性、及び形成精度の向上が図れる。
Claim (excerpt)：
フォトレジストが塗布され、パターンが現像された基板に対してエッチング液を用いてエッチング処理を施し、基板上にパターンを形成させるエッチング装置において、エッチング液の濃度を検出する濃度検出手段が設けられていることを特徴とするエッチング装置。
IPC (3)：
C23F 1/08 101
, G01N 21/59
, H05K 3/06
Cited by examiner (6)
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