Pat

J-GLOBAL ID：200903031774883256

静電チャック

Inventor： ベイツ,ハーバート イー.
Applicant, Patent owner： サフィコン インコーポレイテッド
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997529650
Publication number (International publication number)：2000509552
Application date： May. 16, 1997
Publication date： Jul. 25, 2000
Summary：

【要約】本発明の静電ウェーハ保持チャック(10)は、単結晶酸化アルミニウムより形成される第1および第2の誘電体板(14)および(20)と、第1誘電体板(14)内に形成される凹部(14A)内に配置される少なくとも一つの電極(16)を備える。第2誘電体板(20)は、その頂部ウェーハ支持表面(20A)に流体分配網(28)が形成される。流体分配網(28)は、熱伝達媒体をウェーハ(W)の後面に導く。第1誘電体板(14)と第2誘電体板(20)が組み立てられるとき、第1誘電体板(14)は第2誘電体板(20)に隣接して配置され、モノリシックな密封静電チャック(10)を形成するように拡散的に一緒に結合される。

Claim (excerpt)：

第1の表面と相対する第2の表面とを有し該第1表面に凹部が形成された単結晶酸化アルミニウムより形成された第1の誘電体板と、 該第1誘電体板の第1表面に形成される凹部内に配置された少なくとも一つの電極と、 第1のウェーハ支持表面と相対する第2の表面とを有し該第1ウェーハ支持表面に流体分配網が形成された単結晶酸化アルミニウムより形成される第2の誘電体板とを備え、 前記第1誘電体板が、第2誘電体板の前記第2表面が前記第1誘電体板の前記第1表面の少なくとも周囲部分と親密に接触するように、前記第2誘電体板と隣接して配置され、 前記第1および第2誘電体板を形成する前記単結晶酸化アルミニウム物質が各々C軸を有していて、前記静電チャックが構成されるとき、該C軸線が、相互に関してほぼ平行であり、約5度より小さい挟角を形成するように整列されることを特徴とする静電ウェーハ保持チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D